Temperaturgeregelte Begasung von Deionisiertem Wasser zur Megaschallreinigung von Halbleiterscheiben
EP1181112
Art B1
12. Januar 2005
Anmelder: Infineon Technologies AG, International Business Machines Corporation, Infineon Technologies North America Corp. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1181112
- Aktenzeichen
- EP00923612
- Anmeldetag
- 25. April 2000
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2005
- Erteilung
- 12. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B3/12B08B3/04H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies AG
International Business Machines Corporation
Infineon Technologies North America Corp. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Vertreten von
Vigars, Christopher Ian
London, Großbritannien
611
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte