Herstellung einer Integrierten Schaltung durch Selektive Abscheidung einer Prekursorflüssigkeit

EP1181717 Art A1 27. Februar 2002

Anmelder: SYMETRIX CORPORATION, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1181717
Aktenzeichen
EP00930263
Anmeldetag
28. April 2000
Veröffentlichung
27. Februar 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SYMETRIX CORPORATION
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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