Verfahren und Vorrichtung zum Doppelseitigen Beschichten eines Substrates
EP1181725
Art A1
27. Februar 2002
Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH, FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1181725
- Aktenzeichen
- EP00909271
- Anmeldetag
- 29. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L39/14C23C14/50C23C14/54C23C14/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Forschungszentrum Jülich GmbH
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Forschungszentrum Jülich
Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.
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Paul, Dieter-Alfred
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