Inspektionsverfahren und -vorrichtung durch Sinterung

EP1182460 Art B1 9. November 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Suga, Tadatomo, Itoh, Toshihiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1182460
Aktenzeichen: EP01119644
Anmeldetag: 21. August 2001
Veröffentlichung: 9. November 2005
Erteilung: 9. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/067

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Suga, Tadatomo
Itoh, Toshihiro
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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