Vorrichtung und Verfahren zur Belichtung einer strahlungsempfindlichen Schicht mittels geladener Teilchen sowie Maske hierfür
EP1182505
Art B1
27. September 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1182505
- Aktenzeichen
- EP01120080
- Anmeldetag
- 21. August 2001
- Veröffentlichung
- 27. September 2006
- Erteilung
- 27. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F1/16H01J37/317H01J37/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Diehl, Hermann O. Th
München, Deutschland
81
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Diehl, Hermann, Dr. Dipl.-Phys
NoneMünchen