Verfahren und Vorrichtung zur Elektronenbestrahlung

EP1183706 Art A1 6. März 2002

Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1183706
Aktenzeichen
EP01921820
Anmeldetag
12. April 2001
Veröffentlichung
6. März 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01J33/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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