Gerät und Verfahren zur Sekundärelektronen-Mikroskopie mittels Doppelten Strahles
EP1183707
Art B1
7. Oktober 2009
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1183707
- Aktenzeichen
- EP00936340
- Anmeldetag
- 25. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2009
- Erteilung
- 7. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26H01J37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
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