Modifizierbares Bleizirkontitanat-Dünnschichtmaterial, Abscheidemethode und Ferroelektrische Speicherstrukuren aus Diesem Dünnschichtmaterial
EP1183719
Art A1
6. März 2002
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1183719
- Aktenzeichen
- EP00913553
- Anmeldetag
- 18. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 6. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/283H01L21/477H01L21/8242H01L21/44C04B35/491H01L27/115
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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