Herstellungsvorrichtung und -Verfahren für dünnen Filmen

EP1184483 Art B1 27. Oktober 2010

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1184483
Aktenzeichen
EP01120484
Anmeldetag
28. August 2001
Veröffentlichung
27. Oktober 2010
Erteilung
27. Oktober 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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