Verfahren und Vorrichtung zur Dotierung eines Halbleiters und dadurch hergestelltes Halbleitermaterial

EP1184489 Art B1 12. Dezember 2012

Anmelder: RIKEN, Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1184489
Aktenzeichen: EP01121026
Anmeldetag: 31. August 2001
Veröffentlichung: 12. Dezember 2012
Erteilung: 12. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/14C30B29/40H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: RIKEN
Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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