Verfahren zur Einstellung eines lithographischen Gerätes

EP1184725 Art A1 6. März 2002

Anmelder: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, Infineon Technologies AG, MOTOROLA, INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1184725
Aktenzeichen
EP00119138
Anmeldetag
4. September 2000
Veröffentlichung
6. März 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
Infineon Technologies AG
MOTOROLA, INC.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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🇺🇸 Motorola

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.

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