Muster Vergleichsmethode und Apparat, Lageerkennungsmethode und Apparat, Lage Justagemethode und Apparat und Apparat und Seine Herstellung

EP1184896 Art A1 6. März 2002

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1184896
Aktenzeichen: EP00900417
Anmeldetag: 18. Januar 2000
Veröffentlichung: 6. März 2002
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00H01L21/027G03F7/20G06K9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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