Verwendung von Monosilan als Spül- und Reinigungsmittel bei Abscheidungsverfahren
EP1185723
Art A1
13. März 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1185723
- Aktenzeichen
- EP00936088
- Anmeldetag
- 19. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 13. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/42H01L21/285H01L21/3205C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
Patente gesamt
33
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte