Ic-Kompatible Parylen-Mems-Technologie und Ihre Anwendung bei Integrierten Sensoren
EP1186002
Art A1
13. März 2002
Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY, California Institute of Technology 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1186002
- Aktenzeichen
- EP00913858
- Anmeldetag
- 10. März 2000
- Veröffentlichung
- 13. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
California Institute of Technology - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
California Institute of Technology
Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.
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Reddie & Grose wurde 1907 gegründet und ist neben London und Cambridge auch in München und Den Haag vertreten. Sie gilt laut Fachpresse als besonders versiert im Umgang mit komplexen technischen Fragestellungen vor EPA und UPC.
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