Projektionsbelichtungsanlage
EP1186956
Art B1
5. Oktober 2011
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1186956
- Aktenzeichen
- EP01116995
- Anmeldetag
- 12. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2011
- Erteilung
- 5. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ostertag, Ulrich
Stuttgart, Deutschland
412
Patente gesamt
30
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte