Teilchenoptische Komponente und System mit teilchenoptischer Komponente

EP1187169 Art A3 7. November 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1187169
Aktenzeichen: EP01121374
Anmeldetag: 6. September 2001
Veröffentlichung: 7. November 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/141H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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