Plasmafeste Quartzglas-Haltevorrichtung

EP1187170 Art B1 9. Mai 2007

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD., Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1187170
Aktenzeichen
EP01119913
Anmeldetag
17. August 2001
Veröffentlichung
9. Mai 2007
Erteilung
9. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01L21/00C03C15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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