Zerstäubungsgerät und Schichtherstellungsverfahren
EP1187172
Art B1
12. November 2008
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1187172
- Aktenzeichen
- EP01121383
- Anmeldetag
- 6. September 2001
- Veröffentlichung
- 12. November 2008
- Erteilung
- 12. November 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Körber, Wolfhart
München, Deutschland
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8
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