Zerstäubungsgerät und Schichtherstellungsverfahren

EP1187172 Art B1 12. November 2008

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1187172
Aktenzeichen
EP01121383
Anmeldetag
6. September 2001
Veröffentlichung
12. November 2008
Erteilung
12. November 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Körber, Wolfhart München, Deutschland
121
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik
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