Strahlformung und Projektionsabbildung mittels Uv Gaussischen Festkörperlaserstrahls zur Herstellung von Löchern
EP1187698
Art B1
3. März 2004
Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1187698
- Aktenzeichen
- EP00937922
- Anmeldetag
- 26. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 3. März 2004
- Erteilung
- 3. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Schurack, Eduard F
München, Deutschland
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