Robot-Vor-Positionierung in einem Chip-Herstellungssystem
EP1188097
Art B1
8. März 2006
Anmelder: ASML Holding N.V., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1188097
- Aktenzeichen
- EP00941698
- Anmeldetag
- 23. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 8. März 2006
- Erteilung
- 8. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/418
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
Silicon Valley Group, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
McGowan, Cathrine
London, Großbritannien
353
Patente gesamt
30
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Potter, Julian Mark
WP Thompson · London