Verfahren zum Aufheizen eines Werkstückes, insbesondere eines optischen Elementes
EP1188545
Art A3
13. Oktober 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1188545
- Aktenzeichen
- EP01119484
- Anmeldetag
- 14. August 2001
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B1/12B23K26/00B29D11/00H05B6/80
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte