Stopperfilm zum chemisch-mechanischen Polieren, Verfahren zu seiner Herstellung und chemisch-mechanisches Polierverfahren

EP1188807 Art B1 17. Oktober 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1188807
Aktenzeichen
EP01120403
Anmeldetag
27. August 2001
Veröffentlichung
17. Oktober 2007
Erteilung
17. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C09D171/00C08G65/40H01L21/32B24B37/04C08L71/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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