Vorrichtung zum Bündeln der Strahlung einer Lichtquelle

EP1189089 Art B1 25. April 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1189089
Aktenzeichen
EP01119485
Anmeldetag
14. August 2001
Veröffentlichung
25. April 2007
Erteilung
25. April 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G02B17/00G02B17/02G02B19/00G02B26/08G02B7/00G02B7/185G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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