Projektionsbelichtungsanlage
EP1189112
Art A3
6. April 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1189112
- Aktenzeichen
- EP01116994
- Anmeldetag
- 12. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 6. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ostertag, Ulrich
Stuttgart, Deutschland
412
Patente gesamt
30
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte