Röntgenstrahlbelichtungsapparat und -verfahren, Halbleiter-Herstellungsvorrichtung und Mikrostruktur
EP1189242
Art A3
8. November 2006
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1189242
- Aktenzeichen
- EP01307880
- Anmeldetag
- 17. September 2001
- Veröffentlichung
- 8. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/06G03F7/20G03F1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
18.870 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte