Substrat-Transportanordnung

EP1189275 Art A8 11. September 2002

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1189275
Aktenzeichen
EP01915813
Anmeldetag
26. März 2001
Veröffentlichung
11. September 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Daikin Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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