Vorrichtung zur Erfassung von Anormaler Plasmaentladung und Verfahren Dazu.

EP1189491 Art A1 20. März 2002

Anmelder: Japan Science and Technology Corporation, Kumamoto Technopolice Foundation, Kumamoto Technopolis Foundation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1189491
Aktenzeichen
EP01917520
Anmeldetag
28. März 2001
Veröffentlichung
20. März 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/00H01L21/205H01L21/302B01J19/08G01N29/04G01H1/00G01N29/06G01N29/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Japan Science and Technology Corporation
Kumamoto Technopolice Foundation
Kumamoto Technopolis Foundation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology

Japan Science and Technology ist eine japanische staatliche Einrichtung zur Förderung von Wissenschaft und Technologie, aus der später die Japan Science and Technology Agency hervorging. Das Patentportfolio deckt breit Pharma und Biotechnologie, organische Chemie sowie Mess- und Prüftechnik ab. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2005.

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