Fehlergrenzenmodell zur Identifizierung von Stochastischen Modellen Fuer einen Steuerungsentwurf
EP1190279
Art B1
10. August 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited, Voyan Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1190279
- Aktenzeichen
- EP00921901
- Anmeldetag
- 7. April 2000
- Veröffentlichung
- 10. August 2005
- Erteilung
- 10. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B13/02G06F19/00G01V3/00G05B23/02G05B17/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Voyan Technology - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wombwell, Francis
Birkenhead, Großbritannien
789
Patente gesamt
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Fachgebiete
18
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Schwerpunkte