Echtzeit Voraussagung der Resist-Erwärmung durch Proximität und Korrektur der Raster Scan Elektronenstrahl-Lithographie
EP1190434
Art B1
16. Juli 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC., Etec Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1190434
- Aktenzeichen
- EP00943217
- Anmeldetag
- 27. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2008
- Erteilung
- 16. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/304
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Etec Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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