Komponente mit Gleichförmigem Temperaturprofil für einen Plasmareaktor
EP1190435
Art A1
27. März 2002
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1190435
- Aktenzeichen
- EP00946822
- Anmeldetag
- 14. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 27. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01J37/34C23C16/455H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Brookes Batchellor LLP
Brookes Batchellor LLP · London
-
Barnard, Eric Edward
NoneLondon