Plasmabehandlungsvorrichtung mit Spule geeignet für Rf-Einhüllung Variabler Amplitude

EP1190436 Art B1 13. August 2008

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1190436
Aktenzeichen: EP00946836
Anmeldetag: 22. Juni 2000
Veröffentlichung: 13. August 2008
Erteilung: 13. August 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Orchard, Oliver John London, Großbritannien

25

Patente gesamt

9

Fachgebiete

5

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung

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