Verfahren zur Enfernung eines Silizium-Oxinitrids mittels eines Nasschemischen Verfahrens nach einem Gate-Ätzschritt
EP1190444
Art A2
27. März 2002
Anmelder: NXP B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1190444
- Aktenzeichen
- EP00992786
- Anmeldetag
- 7. November 2000
- Veröffentlichung
- 27. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NXP B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
NXP Semiconductors
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Williamson, Paul Lewis
Eindhoven, Niederlande
1.451
Patente gesamt
19
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
White, Andrew Gordon
NoneEindhoven
-
Duijvestijn, Adrianus Johannes
NoneEindhoven