Zweifrequenzplasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung von Siliziumkarbidschichten
EP1191123
Art A3
17. November 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1191123
- Aktenzeichen
- EP01307652
- Anmeldetag
- 10. September 2001
- Veröffentlichung
- 17. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/32C23C16/505H01L21/308H01L21/311H01L21/314H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte