Flüssige Kupferquelle für MOCVD-Verfahren und Methode zu ihrer Herstellung
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1191124
- Aktenzeichen
- EP01402438
- Anmeldetag
- 24. September 2001
- Veröffentlichung
- 27. März 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/18H01L21/3205
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Die unter diesem Namen firmierende Gesellschaft ist die historische Rechtsform des französischen Industriegasekonzerns Air Liquide mit Sitz in Paris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Heiz-, Kühl- und Beleuchtungstechnik sowie Verfahrens- und Trenntechnik im Bereich Gasetrennung. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2007.
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