Fluidsteuervorrichtung und Gasbehandlungssystem damit
EP1191265
Art B1
12. April 2006
Anmelder: FUJIKIN Inc., Fujikin Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1191265
- Aktenzeichen
- EP01121283
- Anmeldetag
- 5. September 2001
- Veröffentlichung
- 12. April 2006
- Erteilung
- 12. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FUJIKIN Inc.
Fujikin Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
Paul, Dieter-Alfred
Neuss, Deutschland
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