Verfahren und Vorrichtung zur Fehlererkennung
EP1191308
Art A3
18. Februar 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1191308
- Aktenzeichen
- EP01119362
- Anmeldetag
- 10. August 2001
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01D3/08H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kirschner, Klaus Dieter
München, Deutschland
863
Patente gesamt
32
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte