System zur gezielten Deformation von optischen Elementen
EP1191377
Art B1
19. Dezember 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1191377
- Aktenzeichen
- EP01119486
- Anmeldetag
- 14. August 2001
- Veröffentlichung
- 19. Dezember 2007
- Erteilung
- 19. Dezember 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/185
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte