Reflektiv-Refraktives Optisches System und dessen Verwendung in einer Projektionsbelichtungsanlage

EP1191378 Art A1 27. März 2002

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1191378
Aktenzeichen: EP01906249
Anmeldetag: 22. Februar 2001
Veröffentlichung: 27. März 2002
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G02B13/24G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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