Method zur elektrostatischen Anziehung und Verarbeitung eines isolierneden glass Substrates
EP1191581
Art B1
23. Januar 2008
Anmelder: Toto Ltd., ULVAC, INC., TOTO LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1191581
- Aktenzeichen
- EP00929866
- Anmeldetag
- 25. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 23. Januar 2008
- Erteilung
- 23. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Toto Ltd.
ULVAC, INC.
TOTO LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hall, Matthew Benjamin
London, Großbritannien
1.167
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