Schichtdickenmessung mittels Inelastischer Elektronenstreuung
EP1192416
Art B1
23. März 2005
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1192416
- Aktenzeichen
- EP00943069
- Anmeldetag
- 22. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 23. März 2005
- Erteilung
- 23. März 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B15/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schurack, Eduard F
München, Deutschland
299
Patente gesamt
31
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13
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