Verfahren zum Vereinzeln eines Wafers

EP1192657 Art B1 19. März 2003

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1192657
Aktenzeichen
EP00943860
Anmeldetag
21. Juni 2000
Veröffentlichung
19. März 2003
Erteilung
19. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/782H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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