Doppelseitenpolierverfahren für dünne scheibenförmige Werkstücke
EP1193029
Art B1
31. August 2005
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Koyo Machine Industries Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1193029
- Aktenzeichen
- EP00960972
- Anmeldetag
- 13. September 2000
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Erteilung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B7/17
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Koyo Machine Industries Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
Steinmeister, Helmut
Bielefeld, Deutschland
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