Quarzglas Vorrichtungen für die Halbleiter Industrie und Verfahren zur deren Herstellung

EP1193327 Art B1 10. November 2004

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD., Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1193327
Aktenzeichen
EP01122851
Anmeldetag
24. September 2001
Veröffentlichung
10. November 2004
Erteilung
10. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C03C15/00C03C19/00C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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