Apparat für die Plasma-Behandlung

EP1193746 Art B1 9. Dezember 2009

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1193746
Aktenzeichen: EP00922892
Anmeldetag: 27. April 2000
Veröffentlichung: 9. Dezember 2009
Erteilung: 9. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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