Verfahren zum Strukturieren eines Substrats

EP1193747 Art A3 5. November 2003

Anmelder: Carl Zeiss, CARL ZEISS 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1193747
Aktenzeichen: EP01121311
Anmeldetag: 6. September 2001
Veröffentlichung: 5. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss
CARL ZEISS
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss

Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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