Verfahren und Pumpensystem für Ladungsschleusenkammern einer Halbleitervorrichtung
EP1194610
Art A1
10. April 2002
Anmelder: Alcatel Lucent, ALCATEL 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1194610
- Aktenzeichen
- EP01928018
- Anmeldetag
- 20. April 2001
- Veröffentlichung
- 10. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Alcatel Lucent
ALCATEL - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Alcatel-Lucent
Ehemaliger französisch-amerikanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Paris/Boulogne-Billancourt, entstanden 2006 aus der Fusion von Alcatel und Lucent Technologies. War aktiv in Netzwerktechnik, Telekommunikationsausrüstung und Glasfasertechnologie; seit 2016 Teil von Nokia.
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Weitere Vertreter
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