Verfahren und Pumpensystem für Ladungsschleusenkammern einer Halbleitervorrichtung

EP1194610 Art A1 10. April 2002

Anmelder: Alcatel Lucent, ALCATEL 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1194610
Aktenzeichen
EP01928018
Anmeldetag
20. April 2001
Veröffentlichung
10. April 2002
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Alcatel Lucent
ALCATEL
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Alcatel-Lucent

Ehemaliger französisch-amerikanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Paris/Boulogne-Billancourt, entstanden 2006 aus der Fusion von Alcatel und Lucent Technologies. War aktiv in Netzwerktechnik, Telekommunikationsausrüstung und Glasfasertechnologie; seit 2016 Teil von Nokia.

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