Bearbeitungsvorrichtung und Bearbeitungskammer mit Verbessertem Fluss von Prozessfluiden
EP1194613
Art A1
10. April 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc., SEMITOOL, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1194613
- Aktenzeichen
- EP00922257
- Anmeldetag
- 13. April 2000
- Veröffentlichung
- 10. April 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25D3/02C25D17/02C25D17/12B05C3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
SEMITOOL, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Stainthorpe, Vanessa Juliet
Sheffield, Großbritannien
304
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
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