Breitbandiges Katadioptrisches Uv-Abbildungssystem
EP1194803
Art B1
19. Januar 2005
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1194803
- Aktenzeichen
- EP00943030
- Anmeldetag
- 22. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2005
- Erteilung
- 19. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/08G02B21/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Allman, Peter John
Manchester, Großbritannien
139
Patente gesamt
23
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte