Anlage zur Behandlung von Halbleitern und Verfahren zur Steuerung der Feuchtigkeit darin
EP1195450
Art A3
12. Juni 2002
Anmelder: L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1195450
- Aktenzeichen
- EP01402470
- Anmeldetag
- 26. September 2001
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C8/16C30B33/00H01L21/00G01N21/35
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ducreux, Marie
Paris, Frankreich
396
Patente gesamt
21
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte