Vakuumvorrichtung und -Verfahren

EP1195795 Art B1 1. April 2009

Anmelder: Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., The BOC Group plc, THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1195795
Aktenzeichen
EP01308428
Anmeldetag
2. Oktober 2001
Veröffentlichung
1. April 2009
Erteilung
1. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
The BOC Group plc
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Clark, Charles Robert West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Verfahrens- & Trenntechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
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